微纳米操纵机械手 MM3E

MM3E-EM闭环设计微纳米操纵仪是在微纳米操纵仪的基础上，结合闭环位置反馈设计而成，它具有同样的紧凑性、精度和稳定性。 这种改进进一步加强了微纳米操纵仪系统易用性(例如，定义停靠位置和工作位置，并通过点击一下按钮来到达)。

MM3E与市场上几乎所有的 SEM或 FIB / SEM 都完全兼容。它有一个直观的，拖放式的控制软件，提供了一个简单的方式，在SEM 或 FIB / SEM中三维定位探针尖端位置。该软件执行坐标转换，让MM3E表现为一个笛卡尔系统， 具有几微米的可重复性。 通过可选的轴向闭环旋转驱动，样品可以在样品附近进行整体旋转。

使用 MM3E 为你的仪器增加新的功能和性能。

更加紧凑和灵活，占用空间小；以笛卡尔方式使用非笛卡尔坐标轴，即插即用系统；带有模块化组件和一系列插件工具为大多数 SEM / FIB 工具提供接口解决方案。

快速安装：

多个微纳米操纵仪一起轻松工作，面向结果的操作，提高效率

直观的软件控制界面方便使用，易于学习

更换探针简捷方便，无需腔室放气

简单清晰紧凑的结构可以提供更高的响应频率

优异的稳定性，可靠的运行(一年的耐久性试验) 几乎不受震动的影响

手动快速预定位 工作范围广(100立方厘米) 精移、粗移一轴驱动

技术规格：

最小步进精度 xy ~ 0.5nm  Z<0.05nm

轴向分辨率 R<0. 5e^-6弧度

恢复精度XYZ<2微米

轴向恢复精度<0.02度

漂移 < 1nm/min

旋转同心度~ 30微米