微弱电流屏蔽装置

LCMK工具包是专为MM3A-EM开发的弱电流测量工具，测量精度可达1pA，最高电压可达到500V。LCMK采用了一种双重屏蔽的导线以减少电流渗漏，并使输入电流放大到最大。大气一边的输出可以直接连到一个SMU上，以使级数电阻尽可能低。

通过法兰来导入内部导线、防护及屏蔽线。三种信号与法兰电绝缘。屏蔽地线(shield)只通过SMU的三重屏蔽联接器连到机壳外罩上，在真空室内的屏蔽线则与探针支持夹座相连，但与探针支持夹座的其余部分绝缘。

如果不希望出现真空电缆屏蔽线与SEM/FIB内部之间的短路，则真空电缆应以一种避免接触的方式安装。即将真空电缆屏蔽线与显微镜地线相连，这样有利于减少磁性干扰，但却可能导致接地回路。针对不同的显微镜有不同的可能性，需要分别测试。

技术指标：

电流分辨率： 0.2 pA

漏电流：50 fA at 1 V

信号导体电阻：0.9 Ω

最大可施加电压：210 V

最大通过电流： 200 mA